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衝撃圧縮によるシード結晶を含むBi系超伝導体の マイクロ/ナノウィスカーの評価
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可視光通信用受信回路と通信特性の研究
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スタンダードPZT-MEMSプロセスの提案とデバイス評価
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可視光通信技術を用いたフルカラーLEDアラームの研究
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フィルム型電流センサによるセンサネットワークの構築
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駆動回路のスイッチングによるホール素子の特性変化を利用した触覚センサ
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高精度非接触電流センサの開発
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低電圧駆動の移動電極をもつ12 MHzシリコンMEMS共振器の振動評価
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シリコンレゾナント式圧力センサの高耐圧化のための張力制御
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容量計測による衣服型呼吸センサ
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ニューラルネットワークを用いた金属酸化物半導体ガスセンサによる口臭識別
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結晶異方性ウェットエッチング加工による マイクロピラミッド形状の表面微細構造の作製
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可動マイクロ凹凸デバイスの形成と動的な濡れ特性評価
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FeCo系超磁歪材料を用いた小型発電素子の検討
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マイクロフレームジェットデバイスの実現を目指した消炎距離の測定
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リチウムイオン電池正極材料のハイスループット評価法に関する基礎研究
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A new TEM liquid cell with integrated MEMS\nmicrofluidic valve
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エバネッセントモードRF－MEMSフィルタの有限要素解析
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電極付マイクロ流体デバイスの作製と電界発光評価
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マイクロ流体デバイスの熱解析のための白金マイクロヒーターの電気特性
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不純物添加シリコンのインゴット内部における機械特性ばらつき評価
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静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験
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半導体ナノワイヤ物性評価のためのMEMS-Based Strain Engineering
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DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価
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PARYLENE & PDMS OUTER SHELL MICROCAPSULES FILLED WITH CONTENT HYPERTHERMIA
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ワイヤレスセンサ端末用自立電源の取り組み
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圧電薄膜駆動型超音波振動子アニュラーアレイによる超音波ビーム形成
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導電性液体を用いたウェアラブルセンサ
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光ファイバ圧力センサを搭載した細径臓器灌流カテーテル
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絆創膏型生体モニタリングシステムと組み込みデータ処理アルゴリズム
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マイクロ構造上の面粗さによる強度低下の簡単な見積り方法
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MEMSとTEMを組み合わせた実験系による単接点Ptナノ摩擦のリアルタイム観察
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AEセンサを用いた橋梁モニタリングシステム
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凹凸と摩擦力の相関を取得可能なMEMS横型触覚センサ
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