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フィルム積層エレクトレットセンサを用いたデュアルセンサの製作と特性評価
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液圧駆動内視鏡用径可変フードの開発
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材料判別を実現する熱伝導率センサ集積型メッシュ状シリコン触覚イメージャ
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渦流型マイクロリアクタを用いた尿素センサによる血液透析制御
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慣性計測用MEMSジャイロセンサ
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窒化アルミニウム圧電薄膜を用いた表面弾性波ひずみセンサの開発
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近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析
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ウェアラブル生体センサとその応用
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グルコース濃度勾配マイクロチャンバにおけるがん細胞応答の観察
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熱線式マイクロブリッジMEMSセンサのガス検出特性
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MEMS心音センサの研究
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PZT薄膜の残留応力を利用した超音波センサ高感度化のためのダイアフラム撓み制御
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Odor Sensing System Based on Olfactory Receptors and Fluorescent Instrumentation
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位相シフト法を用いた光センサによる血管モデルの物性特性に関する基礎的研究
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大面積印刷技術を用いた歪み、温度センサ集積人工電子ウィスカー
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造精機能評価用センサプローブの開発に関する研究
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可変周波数アンテナのための大変形貫通流路型液体アクチュエータ
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非対称マイクロミラーによるウェアラブル・ディスプレイ
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構造物モニタリング向けMEMS加速度センサの開発
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ニッケルRF-MEMSスイッチの過渡特性評価
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低消費電力デバイスのための静電駆動型シリコンナノ電気機械スイッチ
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伸縮振動を利用したＰＶＤＦエネルギーハーベスタ
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環境振動発電デバイスのギャップ制御構造の開発
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光学的3次元観察による印刷プロセスの可視化法
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3Dレーザーリソグラフィ技術による繊維状基材用3Dフォトマスクの作製
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3Dプリンタを用いた3Dダイナミックマイクロアレイデバイスの製作
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AN OPTIMIZATION TOOL FOR 3D LITHOGRAPHY UTILIZING DMD-BASED MASKLESS EXPOSURE SYSTEM
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繊維状基材マイクロデバイス製造のための円筒露光プロセスの開発
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サファイアの反応性イオンエッチングにおけるマスク材が表面粗さに与える影響
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アルミ薄膜を用いた陽極接合による真空封止技術の開発
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吸引型プラズマエッチング装置によるマイクロ構造のマスクレス形成と評価
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Microfabrication based on Carbon Nanotubes-Nickel Composite for Scanning Micromirror
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SiOBへの適応を目指した光学自動アライメント技術の開発
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UVナノインプリントと異方性ウェットエッチングの組み合わせによるナノスケール極微細構造の作製
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