{"product_id":"ieej-20231122c00101-007","title":"Hf0.5Zr0.5O2絶縁膜上へ溶液塗布成膜したTIPS-ペンタセン薄膜の構造評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM23007\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2023\/11\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStructural investigation of TIPS-pentacene thin films deposited on Hf0.5Zr0.5O2 insulating surface\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e河野 裕太(大阪工業大学),北村 太慈(大阪工業大学),山本 英資(大阪工業大学),小池 一歩(大阪工業大学),丸山 伸伍(東北大学),廣芝 伸哉(大阪工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuta Kawano(Osaka Institute of Technology),Daiji Kitamura(Osaka Institute of Technology),Eisuke Yamamoto(Osaka Institute of Technology),Kazuto Koike(Osaka Institute of Technology),Shingo Maruyama(Tohoku University),Nobuya Hiroshiba(Osaka Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＦｅＦＥＴ|ＨｆＺｒＯ２|ＴＩＰＳ－Ｐｅｎｔａｃｅｎｅ|溶液塗布熱分解法|スピンコート法|有機薄膜|FeFET|HfZrO2|TIPS-Pentacene|Cemical Solution Deposition|Spincoat Method|Organic thin film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は、強誘電体ゲートトランジスタの作製とメモリ応用を目指している。我々は半導体層としてTIPS-pentacene，強誘電性材料としてHf0.5Zr0.5O2に注目している． TIPS-pentaceneは溶媒可溶な高移動度を示す有機半導体である．また，Hf0.5Zr0.5O2は溶液法で成膜可能な強誘電性絶縁体である．本研究では，Hf0.5Zr0.5O2絶縁膜上でのTIPS-pentaceneの成膜について詳細に調べた．TIPS-Pentacene\/Hf0.5Zr0.5O2 薄膜の有機半導体層の結晶性や表面モルフォロジーを詳細に調査したので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eOur final goal is to fabricate ferroelectric gate transistors(FeFETs) and to apply them to memory applications. In this study, we focused on TIPS-pentacene as the semiconductor layer and Hf0.5Zr0.5O2 as the ferroelectric material. TIPS-pentacene is a solvent-soluble organic semiconductor with high field-effect mobility. Hf0.5Zr0.5O2 is a ferroelectric insulator that can be deposited by a solution method. Here, we report the depositions of TIPS-pentacene on Hf0.5Zr0.5O2 insulators. The crystallinity and surface morphology of surfaces and interfaces in TIPS-Pentacene\/Hf0.5Zr0.5O2 thin films were investigated in detail.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20231122c00101\"\u003e2023年11月22日-2023年11月23日電子材料研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e23-25 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,004 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46352503537903,"sku":"IEEJ-20231122C00101-007-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46355558334703,"sku":"IEEJ-20231122C00101-007-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_47474d95-0b71-447c-8c16-56c2579cd256.png?v=1743234331","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20231122c00101-007","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}