{"product_id":"ieej-20240603a01401-026","title":"吹付けレーストラック型Ar\/N2誘導熱プラズマにおける基板上線状プラズマの回転・振動温度の一様性に対する基板上ガス流量比の影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEPP24056\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/06\/03\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eInfluence of gas flow rate ratio on the uniformity of rotational and vibrational temperatures in the linear plasma on the substrate in racetrack type Ar\/N2 induction thermal plasma with gas blow\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e宮本 匠(金沢大学),田中 康規(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),川浦 廣(シー・ヴィー・リサーチ)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakumi Miyamoto(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e熱プラズマ|表面改質|回転温度|振動温度|レーストラック型|分光観測|Thermal plasma|Surface modification|Rotational temperature|Vibrational temperature|Racetrack type|Spectroscopic observation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e新開発した吹付けレーストラック型Ar\/N2誘導熱プラズマ装置内の基板上線状プラズマに対しAr\/N2ガス流量比を変更し分光観測を行った。N2ガス流量比を増加させるとN原子スペクトル強度は横方向80mmの一様性を維持したまま高くなり，一方でN2＋振動温度は維持された。このことから，N2ガス流量比を増加させるとN2がより多く解離し N原子が高濃度で生じ，一様な窒化に有利になりえることがわかった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eSpectroscopic observation was conducted for a newly developed racetrack type Ar\/N2 induction thermal plasmas with gas blow at different Ar\/N2 gas flow ratios. Increasing N2 gas flow ratio raised the N atom spectral intensity while maintainig the intensity uniformity on the substrate, although the N2+ rotational and vibrational temperatures were almost unchanged. There indicate that increasing N2 gas flow rate leads to more N2 dissociation to have higher concentration of N atoms.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20240603a01401\"\u003e2024年6月6日-2024年6月7日放電・プラズマ・パルスパワー研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e105-110 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e3,206 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46352573989103,"sku":"IEEJ-20240603A01401-026-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46355734364399,"sku":"IEEJ-20240603A01401-026-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_740730ad-7b75-4c2e-9b7b-1500c436c2c1.png?v=1743252517","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20240603a01401-026","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}