{"product_id":"ieej-20240802x13701-002","title":"低気圧誘導結合放電によるMg-不活性ガス混合プラズマの生成とMg薄膜の合成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEPP24061,SA24029,SP24002\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー\/【B】電力・エネルギー部門 静止器\/【B】電力・エネルギー部門 開閉保護合同研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/08\/02\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGeneration of Mg-inert gas mixture plasma and Mg thin film synthesis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤 直幸(茨城大学),キュゾビック ティホミール(茨城大学),石田 大輝(茨城大学),保坂 恭平(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNaoyuki Sato(Ibaraki University),Tihomir Cuzovic(Ibaraki University),Daiki Ishida(Ibaraki University),Kyouhei Hosaka(Ibaraki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマグネシウム金属|不活性ガス|酸素|プラズマ|フルスペクトラム|透明導電膜|Magnesium metal|inert gas|oxygen|plasma|full-spectrum|TCF\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eArガス20 sccm導入時の無電極高周波放電の内部で，Mg蒸気量が増すにつれてアーク状の強い発光が観察された．その周辺の石英ガラス上には，可視光透過のバンドギャップが6 eV以上で100 Ω\/□台の透明導電性を示すMg金属薄膜が得られた．更なる低抵抗化を狙い，Mg薄膜の初期成長に及ぼす不活性ガス種の効果を観察している．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eStrong arc-like luminescence was observed inside the electrodeless high-frequency discharge when 20 sccm of Ar gas was introduced, as the amount of Mg vapor increased. On the surrounding quartz glass, a transparent conductive Mg metal thin film was obtained with a band gap of more than 6 eV for visible light transmission and a conductivity in the 100 Ω\/sq range. The effect of inert gas species on the initial growth of Mg ultra-thin films is being observed with the aim of further lowering the resistivity.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20240802x13701\"\u003e2024年8月5日-2024年8月6日放電・プラズマ・パルスパワー\/静止器\/開閉保護合同研究会-1\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e5-9 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,557 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46352590340335,"sku":"IEEJ-20240802X13701-002-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46355757334767,"sku":"IEEJ-20240802X13701-002-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_43d574db-b815-4894-8c9e-c16cecf9eaf2.png?v=1743253278","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20240802x13701-002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}