{"product_id":"ieej-20240805a00901-004","title":"二層セラミックス下地層付きSi基板上Nd-Fe-B系厚膜磁石の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG24053\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/08\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePreparation of Nd-Fe-B thick-film magnets on Si Substrates with ceramics two-underlayers\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山口 明華(長崎大学),山下 史宏(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHaruka Yamaguchi(Nagasaki University),Fumihiro Yamashita(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＰＬＤ法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系厚膜磁石|Ｓｉ基板|セラミックス下地層|ＭＥＭＳ|微細着磁|pulsed laser deposition (PLD) method|Nd-Fe-B thick-film magnets|Si substrate|ceramics underlayer|microelectromechanical systems(MEMS)|micro-magnetization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は、PLD法によりSi基板上にガラスやアルミナを下地層としたNd-Fe-B系厚膜磁石の開発を行ってきた。ガラス下地層付き試料は微細着磁に成功したが，J-Hループの角型性は既報の金属基板上の試料に比べ劣る。アルミナ下地層付き試料において角型性の向上を実現したが，機械的破壊を起こし脆弱性が課題である。そこで堅牢性と磁気特性を両立する二層（ガラス\/Al-O）下地層について検討したので報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe previously developed thick Nd-Fe-B films on Si substrates with glass or Al-O underlayer using PLD method. Although micro-magnetization could be achieved in the samples with a glass underlayer, the squareness of a hysteresis loop deteriorated. The squareness could be improved by using an Al-O layer, however the sample was brittle. Here, usage of ceramics two-underlayers comprising of a glass and an Al-O layer was applied.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20240805a00901\"\u003e2024年8月8日-2024年8月9日マグネティックス研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e19-23 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,506 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46352591487215,"sku":"IEEJ-20240805A00901-004-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46355758711023,"sku":"IEEJ-20240805A00901-004-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_a215314d-7413-4705-ac6d-88b0bbc335fa.png?v=1743253340","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20240805a00901-004","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}