{"product_id":"ieej-20240826a00501-005","title":"回転放物面鏡立体投影露光光学系の投影歪の計算と レチクル修正による投影歪の補正","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eLAV24014\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/08\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCalculations of Distortions Caused by Stereophonic Projection Optics Using Paraboloid Mirrors and Distortion Compensations by Reticle Modifications\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堀内 敏行(東京電機大学),岩崎 順哉(東京電機大学),小林 宏史(東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eToshiyuki Horiuchi(Tokyo Denki University),Jun-ya Iwasaki(Tokyo Denki University),Hiroshi Kobayashi(Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e立体面投影露光|回転放物面ミラー|大パターン|投影歪|歪補正|レチクル補正|Stereophonic projection exposure|Paraboloid mirror|Rough pattern|Projection distortions|Distortion Compensation|Reticle modification\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e回転放物面鏡立体投影光学系を用い、平面レチクルを使用して曲面被露光物上に大パターンを形成する投影露光リソグラフィ技術を検討した。まず、下ミラー底部の平面レチクルパターンが上ミラー開口の結像面に投影されるときの格子点座標を計算し、実際の投影露光結果とよく合致することを確かめた。そして、計算上、12mm角正方格子が転写できるように補正したレチクルを用い、歪のない正方格子を平面ウエハに転写した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eProjection lithography using paraboloid mirrors were investigated. Distortions caused by the projection optics were calculated. The calculation results well coincided with the experimental ones. When patterns on a flat reticle were modified so as the calculated patterns became the expected ones, they were successfully replicated on a silicon wafer. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20240826a00501\"\u003e2024年8月29日光応用・視覚研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e19-24 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e631 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46352592765167,"sku":"IEEJ-20240826A00501-005-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46355760513263,"sku":"IEEJ-20240826A00501-005-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_be412b3a-d7be-4107-a0c2-fc20e41e9c34.png?v=1743253410","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20240826a00501-005","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}