{"product_id":"ieej-20241021a00901-007","title":"近磁界測定用薄膜磁界センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG24079\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/10\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThin Film Magnetic Sensor for Magnetic Near Field Measurement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003eTonthat Loi(東北大学),鈴木 椋太(東北大学),Chakarothai Jerdvisanop(情報通信研究機構),藤井 勝巳(情報通信研究機構),薮上 信(東北大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eLoi Tonthat(Tohoku University),Ryota Suzuki(Tohoku University),Jerdvisanop Chakarothai(National Institute of Information and Communications Technology),Katsumi Fujii(National Institute of Information and Communications Technology),Shin Yabukami(Tohoku University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e磁界センサ|コプレーナ薄膜|近磁界|高周波駆動型|magnetic field sensor|coplanar line-type thin film|magnetic near field|high-frequency\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e従来のコプラナ薄膜磁場センサーは、インピーダンスの不一致による信号反射が大きく、感度と性能が制限されることが多い。この問題に対処するため、信号線内の電流の流れを最適化し、インピーダンスマッチングを向上させるために、磁性薄膜内に狭いスリットを導入することを提案する。スリット幅が6μmから50μmまでのセンサーを製作し、伝送（S21）および反射（S11）の係数をネットワークアナライザーで測定して評価した。その結果、従来のスリットなしセンサーと比較して高周波におけるS21振幅が顕著に向上することが示された。現在、感度分析を進めており、センサーの性能を最大化するための最適なスリット幅を決定することを目指している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eConventional coplanar thin-film magnetic field sensors often suffer from significant signal reflection due to impedance mismatch, limiting their sensitivity and performance. To address this, we propose introducing narrow slits within the magnetic thin film, enhancing impedance matching and optimizing current flow in the signal line. Sensors with slit widths ranging from 6μm to 50μm were fabricated and evaluated through network analyzer measurements of transmission (S21) and reflection (S11) coefficients. The results demonstrate a marked improvement in S21 amplitude at high frequencies compared to conventional slitless sensors. Ongoing sensitivity analysis is focused on determining the optimal slit width to maximize overall sensor performance.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20241021a00901\"\u003e2024年10月24日-2024年10月25日マグネティックス研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e37-38 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e英語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,066 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P09","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46352612098287,"sku":"IEEJ-20241021A00901-007-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46355787940079,"sku":"IEEJ-20241021A00901-007-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_9f9533a7-29af-4d26-85a0-5ccd42e844cc.png?v=1743254271","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20241021a00901-007","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}