{"product_id":"ieej-20241125c00101-002","title":"溶液を用いる半導体薄膜堆積","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM24002\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/11\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSemiconductor Thin film Depositions using Chemical Solutions\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e市村 正也(名古屋工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasaya Ichimura(Nagoya Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e薄膜堆積|半導体|化学溶液|酸化物|硫化物|電気化学堆積|thin film deposition|semiconductor|chemical solutions|oxides|sulfides|electrochemical deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e溶液を用いる半導体薄膜の化学的堆積では、(1)容器に入れた溶液中で堆積する、または(2)塗布や滴下などで基板上に置いた溶液層から堆積する。講演では、(1)として、電気化学堆積法、光化学堆積法の実験結果を報告する。(2)としてはドロップ蒸発法について報告する。これら手法は簡便安価な装置で堆積が可能であり、太陽電池など低コストでの製膜が必要な用途に適している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eMethods of semiconductor thin-film depositions using chemical solutions are reviewed. In those methods, (1) the deposition is performed in a solution in a container, or (2) a film is formed from a solution layer loaded on a substrate. Some experimental results of both the types of depositions will be reported.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20241125c00101\"\u003e2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e5-6 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e995 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P09","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46352627925231,"sku":"IEEJ-20241125C00101-002-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46355815792879,"sku":"IEEJ-20241125C00101-002-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_5bb80135-5494-4a3d-90b1-0dd375969550.png?v=1743254828","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20241125c00101-002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}