{"product_id":"ieej-20241125c00101-006","title":"パルスレーザ堆積によるフレキシブルな50Ba(Zr0.2, Ti0.8)O3-50(Ba0.7, Ca0.3)TiO3 エピタキシャル薄膜の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM24006\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/11\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication of Flexible 50Ba(Zr0.2, Ti0.8)O3-50(Ba0.7, Ca0.3)TiO3 Epitaxial Thin Films using Pulsed Laser Deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e西川 直希(近畿大学),西川 博昭(近畿大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNaoki Nishikawa(Kindai University),Hiroaki Nishikawa(Kindai University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e圧電薄膜|フレキシブル|転写プロセス|ＢＺＴ－ＢＣＴ|Ｓｒ４Ａｌ２Ｏ７|Piezoelectric Thin Film|Flexible|Transfer Process|BZT-BCT|Sr4Al2O7\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e鉛フリー圧電材料である(1-x)Ba(Zr0.2, Ti0.8)O3-x(Ba0.7, Ca0.3)TiO3 ((1-x)BZT-xBCT)は、化学組成が50BZT-50BCTでPb(Zr, Ti)O3に匹敵する優れた圧電性(d33=560?620??pC\/N)を示す。本研究では、Sr4Al2O7犠牲層を用いてフレキシブル50BZT-50BCTエピタキシャル薄膜の作製を試みたので、その結果を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThe lead-free piezoelectric material (1-x)Ba(Zr0.2, Ti0.8)O3-x(Ba0.7, Ca0.3)TiO3 ((1-x)BZT-xBCT) exhibits piezoelectric properties comparable to those of Pb(Zr, Ti)O3, particularly at the 50BZT-50BCT composition. In this paper, we present the fabrication of flexible 50BZT-50BCT epitaxial thin films using a Sr4Al2O7 sacrificial layer, demonstrating potential for flexible piezoelectric applications.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20241125c00101\"\u003e2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e19-20 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,160 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P09","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46352629498095,"sku":"IEEJ-20241125C00101-006-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46355816022255,"sku":"IEEJ-20241125C00101-006-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_8c2c894b-652c-4e29-9a30-8e07ddab7e05.png?v=1743254836","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20241125c00101-006","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}