{"product_id":"ieej-20241125c00101-024","title":"放射光X線回折・吸収分光測定を用いた電子デバイス評価技術の紹介","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM24024\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2024\/11\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eElectronic device characterization using synchrotron X-ray diffraction, and X-ray absorption spectroscopy measurements.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e渡辺 剛(公益財団法人高輝度光科学研究センター)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakeshi Watanabe(Japan Synchrotron Radiation Research Institute)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e放射光Ｘ線|すれすれ入射Ｘ線回折測定|Ｘ線吸収分光測定|半導体材料|Synchrotron X-ray|Grazing incidence X-ray diffraction|X-ray absorption spectroscopy|Semiconductor materials\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本稿では、我々がこれまでに取り組んできた放射光測定・解析技術開発の取り組みについて一部を紹介する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe introduce some of the synchrotron measurement and analysis techniques that have been developed for electronic devices\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20241125c00101\"\u003e2024年11月28日-2024年11月29日電子材料研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e83-85 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,408 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46352631922927,"sku":"IEEJ-20241125C00101-024-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46355817398511,"sku":"IEEJ-20241125C00101-024-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_00f26940-8e7c-4198-86cb-8eadc4cb407a.png?v=1743254891","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20241125c00101-024","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}