{"product_id":"ieej-20250302c00101-001","title":"フッ素レーザーによる非晶質炭素ナノ膜の光化学的透明化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM25001\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2025\/03\/02\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePhotochemical transparency of amorphous carbon nanofilms by fluorine laser\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大越 昌幸(防衛大学校),奥園 聡史(防衛大学校)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMasayuki Okoshi(National Defense Academy),Satoshi Okuzono(National Defense Academy)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e非晶質炭素|透明化|ｓｐ２炭素|励起一重項酸素原子Ｏ（１Ｄ）|Ｆ２レーザー|ＡｒＦエキシマレーザー|Amorphous carbon|Transparency|sp2 carbon|Excited singlet oxygen atom O(1D)|F2 laser|ArF excimer laser\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本論文では、波長157nmのF2レーザーを用いて非晶質炭素ナノ膜の表面を光励起し、同時に大気中の酸素分子を励起一重項酸素原子O(1D)に光分解した。そして、O(1D)原子が三重項酸素原子O(3P)よりも膜中のsp2炭素を光化学的にエッチングできることを見出した。その結果、非晶質炭素ナノ膜は光化学的に透明に改質されることが実証された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eIn this paper, we used an F2 laser with a wavelength of 157 nm to photoexcite the surface of an amorphous carbon nanofilm, and simultaneously photodecompose atmospheric oxygen molecules O2 into excited singlet oxygen atoms O(1D). The results showed that O(1D) atoms can photochemically etch sp2 carbon in nanofilms significantly better than triplet oxygen atoms O(3P). Thus, we found that the surface layer of the amorphous carbon nanofilm was photochemically modified to be transparent.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌: \u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/ieej-20250302c00101\"\u003e2025年3月5日電子材料研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ: \u003c\/strong\u003e1-2 p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,014 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P09","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46408140783855,"sku":"IEEJ-20250302C00101-001-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46408575910127,"sku":"IEEJ-20250302C00101-001-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_b0c39581-fba0-4b33-9c56-0bfecd82c547.png?v=1745233047","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20250302c00101-001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}