{"product_id":"ieej-20250608a01401-012","title":"150 kHz帯大電力パルスバースト型高周波放電のガス種依存性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003eEPP25057\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/6\/8\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eGas Species Dependence of High-Power Pulse-Burst RF Discharges in the 150 kHz Band\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e中居林 優(岩手大学),髙橋 直宏(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),向川 政治(岩手大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003eYu Nakaibayashi(Iwate University),Naohiro Takahashi(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Kouichi Takaki(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e低気圧プラズマ,プロセスプラズマ,誘導結合プラズマ,Low-pressure plasma,process plasma,Inductively coupled plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e150 kHz帯の大電力パルスバースト高周波放電の特性を明らかにするため, ガス種依存性について検討した。ICCDカメラ, ダブルプローブ計測, 分光器によってAr, N2, O2放電の時間特性について評価した。放電進展を観測したところ, 発光はリアクタ内壁部から中心部へと進展し, それぞれ発光由来に違いがあると確認された。この結果からパルスバースト高周波放電には2つの放電原理があるということが分かった。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eTo elucidate the characteristics of high power pulsed burst RF discharges, the dependence on gas species was investigated. The time characteristics of the discharges were evaluated using an ICCD camera and the results show that there are two principles of discharges.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌：\u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/IEEJ-20250608A01401\"\u003e2025年6月11日-2025年6月13日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-1\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ：\u003c\/strong\u003e59-64p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別：\u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e6,038Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46526597431535,"sku":"IEEJ-20250608A01401-012-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46526597464303,"sku":"IEEJ-20250608A01401-012-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_99e4c963-31f8-4138-a5f0-5dc9e5f2bc95.png?v=1749535125","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20250608a01401-012","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}