{"product_id":"ieej-20250923d01701-001","title":"ステージ制御高速高精度化のためのC^N級目標軌道設計","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003eMEC25001\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/9\/23\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eC^N-Class Target Trajectory Design for High-Speed and High-Precision Stage Control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e武田 耕生(ニコン),坂田 晃一(ニコン),岡部 紘介(ニコン),加藤 凌(ニコン)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003eKosei Takeda(Nikon corporation),Koichi Sakata(Nikon corporation),Okabe Kosuke(Nikon corporation),Kato Ryo(Nikon corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e目標軌道設計,高次連続性,ステージ制御,共振抑制,Trajectory Planning,High-order Continuity,Stage Control,Resonance Suppression\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e高精度が求められるロボットや露光装置では、高次共振モードを励起しないために、定速区間間を滑らかに接続する軌道が重要である。しかし、現行の露光装置で用いられる4次多項式は振動成分が∝f^(-6)でしか減衰せず、残留振動が等速区間を含む位置決め精度を低下させる課題がある。そこで本研究では、高周波成分の抑制が期待できるC^N級目標軌道の構築方法について論ずるとともに、既存軌道との実機比較を行い、その有効性を検証する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eIn high-precision robots and exposure systems, smooth trajectory connections between constant velocity segments are vital to suppress higher-order resonance modes. Conventional quartic polynomials used in exposure tools attenuate vibration as ∝f^(-6), insufficiently reducing residual vibration. This study proposes C^N-class trajectories to better suppress high-frequency components and experimentally verifies their effectiveness.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌：\u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/IEEJ-20250923D01701\"\u003e2025年9月26日メカトロニクス制御研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ：\u003c\/strong\u003e1-6p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別：\u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,658Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46849525219567,"sku":"IEEJ-20250923D01701-001-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46849525252335,"sku":"IEEJ-20250923D01701-001-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_06d4ff7e-3a6c-4285-89eb-5fbd105cca06.png?v=1758016420","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20250923d01701-001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}