{"product_id":"ieej-20250923d01701-003","title":"Inside Heaterを搭載したバッチ式半導体熱処理成膜装置のHeater・Cooler統合による高速高精度温度制御法の実装と検証","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003eMEC25003\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/9\/23\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eImplementation and Evaluation of Fast and Precise Temperature Control for a Semiconductor Vertical Furnace with a Inside Heater by Heater-Cooler Integration\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e西岡 巧真(東京大学),ブディオノ クリスチャン　ミレニュー(東京大学),大西 亘(東京大学),古関 隆章(東京大学),平田 輝(東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ),山口 達也(東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003eKoma Nishioka(The University of Tokyo),Christian Milleneuve Budiono(The University of Tokyo),Wataru Ohnishi(The University of Tokyo),Takafumi Koseki(The University of Tokyo),Akira Hirata(Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.),Tatsuya Yamaguchi(Tokyo Electron Technology Solutions Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eバッチ式半導体熱処理成膜装置,化学気相成長,フィードバック制御,システム同定,温度制御,Semiconductor vertical furnace,Chemical vapor deposition,Feedback control,System identification,Temperature control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e半導体製造分野においては，高速高精度な制御技術に対する要求が年々高まっている。本稿では，新型アクチュエータ「Inside Heater」が搭載されたバッチ式半導体熱処理成膜装置に対し，Inside HeaterとCoolerを統合する制御系を提案する。提案手法により，外乱除去性能に優れ，オーバーシュートの少ない高帯域フィードバック制御が実現された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThe demand for faster and more precise control technologies in semiconductor manufacturing continues to grow. This study proposes a control system that integrates the Inside Heater and Cooler for a batch-type semiconductor vertical furnace, which has a novel actuator called \"Inside Heater\". This method enabled the realization of a high-bandwidth feedback controller with improved disturbance rejection and overshoot reduction.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌：\u003c\/strong\u003e\u003ca href=\"\/products\/IEEJ-20250923D01701\"\u003e2025年9月26日メカトロニクス制御研究会\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ：\u003c\/strong\u003e13-18p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別：\u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,750Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-P10","offers":[{"title":"冊子印刷（一般価格660円\/会員価格440円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46849525350639,"sku":"IEEJ-20250923D01701-003-PRT","price":660.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46849525383407,"sku":"IEEJ-20250923D01701-003-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-KENKYUKAI_b7e340b0-43e7-49b9-b490-f2177b9e5ebf.png?v=1758016422","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-20250923d01701-003","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}