{"product_id":"ieej-btc205tc100001","title":"半導体製造装置の業界構造に伴う温度制御技術","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003eTC10-1\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【C】2025年電気学会電子・情報・システム部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/8\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eTemperature Control Technology of Semiconductor Manufacturing Equipment in Industry Structure\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e田中 雅人（アズビル株式会社）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003eMasato Tanaka (Azbil Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e制御技術,半導体製造装置,業界構造業界構造,control technology,semiconductor manufacturing equipment,industry structure\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eIoTやAIというメガトレンドに鑑み，半導体製造装置の業界構造と温度制御技術の関連性について考察する。製造装置メーカや制御機器メーカにとっては，装置稼働状態で収集されるデータ所有権には限界がある。しかし，制御機器メーカは制御理論の知見保有者であり，理論的なアプローチによる制御系のモデリングは実行できる立場にある。その意味でも、制御系のモデルベース開発の協働が重要課題になる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ：\u003c\/strong\u003e405-411p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別：\u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e705Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":47942236405999,"sku":"IEEJ-BTC205TC100001-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_64fa4110-1197-419b-8f62-c809fc245f73.png?v=1773065792","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-btc205tc100001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}