{"product_id":"ieej-btc205tc100002","title":"半導体製造プロセスの圧力制御における1DCAEに基づく開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003eTC10-2\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【C】2025年電気学会電子・情報・システム部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/8\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eDevelopment based on 1DCAE in pressure control of semiconductor manufacturing processes\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e瀧尻 興太郎（堀場エステック）,中川 篤志（堀場エステック）,吉元 洸人（堀場エステック）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003eTakijiri Kotaro (HORIBA STEC, Co., Ltd.),Nakagawa Atsushi (HORIBA STEC, Co., Ltd.),Yoshimoto Hiroto (HORIBA STEC, Co., Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e半導体製造プロセス,モデルベース開発,圧力制御,PID制御,1DCAE,Semiconductor manufacturing process,Model based development,Pressure Control,PID control,1DCAE\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e半導体製造の原子層蒸着とエッチングでは，スループットを向上させるためにチャンバー内のウェーハの温度分布が重要となっている。温度管理にはウェーハ裏面の圧力制御が重要となっており，圧力の応答性および安定性が求められている。この圧力制御器が用いているが，装置の条件毎に目標応答を満たすよう調整が必要となっている。そのため現場での調整が必要となり，調整コストが発生している。このような制御パラメータの調整は半導体プロセスでは多く課題となっている。よって半導体装置での制御対象のモデル化を行い，シミュレーションを用いたモデルベース開発を行う事が重要となる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e本誌掲載ページ：\u003c\/strong\u003e411-415p\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別：\u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e637Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":47942236897519,"sku":"IEEJ-BTC205TC100002-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_69f55ce7-49e7-42c4-ad7c-dac514afa9e6.png?v=1773065800","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-btc205tc100002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}