{"product_id":"ieej-bte2025-10a3-d-2","title":"大面積ミラー、広角スキャンを備えた1軸圧電MEMSスキャナ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10A3-D-2\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eResonant 1D Piezoelectric MEMS Scanner With Large Size Mirror and Wide Scanning Angle\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*阿部 洋輔（リコー）, 藤島 正幸（リコー）, 塚本 宣就（リコー）, 清元 智文（リコー）, 佐藤 正章（リコー）, 新川 瑞季（リコー）, 横田 渉（リコー）, 鈴木 修一（リコー）, 坂井 篤（リコー）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eMEMSスキャナ,圧電MEMS,LiDAR,大口径ミラー,広角スキャン,MEMS scanner,Piezoelectric MEMS,LiDAR,Large size mirror,Wide scanning angle\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eLiDAR用途向けの大口径ミラーかつ広角光走査を実現する圧電MEMSスキャナを開発した。このMEMSスキャナは長軸8.4mm、短軸4.4mmの八角形ミラーを有し、大気圧下、周波数385.4Hz、振幅45Vppの正弦波電圧入力により最大光走査角230°を達成した。さらに、MEMSスキャナに対して振動試験を実施しIEC 60068-2-64規格を満たす振動耐性を有することを確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eA MEMS scanner for LiDAR applications was developed, featuring an octagonal mirror with a major axis of 8.4 mm and a minor axis of 4.4 mm. This MEMS scanner achieved a maximum optical scanning angle of 230° under atmospheric pressure at a frequency of 385.4 Hz.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e629Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649092788463,"sku":"IEEJ-BTE2025-10A3-D-2-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_b5b5240c-56e6-4874-8d75-3d9e1225bc6c.png?v=1780550834","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10a3-d-2","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}