{"product_id":"ieej-bte2025-10a3-d-4","title":"ヘルムホルツ共鳴器アレイによる音響駆動型MEMSミラー","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10A3-D-4\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eAcoustically driven MEMS mirror with Helmholtz resonator array\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*福田 将広（慶應義塾大学）, 中島 利八郎（慶應義塾大学）, 菅 哲朗（電気通信大学），高橋 英俊（慶應義塾大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eヘルムホルツ共鳴器,レーザアニーリング,ファイバーレーザ,MEMSミラー,音響駆動,Helmholtz resonator,Laser annealing,Fiber laser,MEMS mirror,Acoustic actuation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、音響駆動型MEMSスキャナミラーの振動をヘルムホルツ共鳴器(HR)で増幅する手法を提案する。ミラーの機械的共振周波数に一致するHRアレイを音源とミラーの間に配置し、特定周波数の音波を増幅することで、振動振幅を効率的に向上させた。ピエゾ抵抗層を有する試作ミラーを製作し、振動振幅を定量的に評価した。実験結果から、HRアレイが振動を約20倍増幅することが確認された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis paper addresses a method for amplifying an acoustically driven MEMS scanning mirror by using a Helmholtz resonator (HR). HR array is placed between the acoustic source and the mirror, with its resonant frequency matching the mirror’s mechanical resonance. Experimental results confirmed that the HR array amplified the vibration by a factor of approximately 20.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e2,160Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649101045999,"sku":"IEEJ-BTE2025-10A3-D-4-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_622267ac-8677-4eb7-892a-154baf69b382.png?v=1780550845","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10a3-d-4","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}