{"product_id":"ieej-bte2025-10p2-c-2","title":"光入射角の計測に向けたフィルタフリー波長センサの製作と評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P2-C-2\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eFabrication and Evaluation of a Filter-Free Wavelength Sensor for Measurement of Light Incident Angle\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*Hoang Ngoc Hung（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 井出 智也（豊橋技術科学大学）, 松原 稜弥（豊橋技術科学大学）, 野田 佳子（豊橋技術科学大学）, 飛沢 健（豊橋技術科学大学）, 赤井 大輔（豊橋技術科学大学）, 木村 安行（豊橋技術科学大学）, 權 益賢（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eフィルタフリー,表面プラズモン共鳴,バイオセンサ,入射角,距離センサ,Filter-free,Surface Plasmon Resonance,Biosensor,Angle of Incidence,Distance Sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本論文では、長方形の受光領域を持つフィルタフリー波長センサの原理、製作プロセス、および入射角依存性の評価について報告する。本センサは、豊橋技術科学大学のLSI工場でn型シリコン基板上に形成され、従来のSPRバイオセンサシステムへの応用が期待されている。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis paper reports on the principle, fabrication process, and evaluation of the angle-of-incidence dependence of a filter-free wavelength sensor with a rectangular light-receiving area. This sensor was formed on an n-type silicon substrate at the LSI factory of Toyohashi University of Technology and is expected to be applied to conventional SPR biosensor systems.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,394Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649133617391,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P2-C-2-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_86e6543d-8c66-48e2-b35a-95a55634e6a5.png?v=1780550880","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p2-c-2","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}