{"product_id":"ieej-bte2025-10p2-c-4","title":"Si-SOI基板の直接接合による縦型櫛歯電極構造の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P2-C-4\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eDevelopment of vertical comb electrodes by Si-SOI wafer bonding process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*堀井 慧（神戸大学） 本間 浩章（神戸大学）, 年吉 洋（東京大学）, 上杉 晃生（神戸大学）, 菅野 公二（神戸大学）, 磯野 吉正（神戸大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eMEMS,櫛歯電極,基板接合,小型化,親水化処理,MEMS,comb electrode,wafer bonding,minituarization,Hydrophilic Treatment\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、Si-SOI基板接合による縦型櫛歯電極構造の作製方法を確立した。Si基板にDRIE装置を用いて作製した櫛歯上部にSOI基板を接合し、その後、可動部に接合された櫛歯のみをリリースすることで縦型櫛歯構造を形成する。提案した作製方法により、1チップ上に並べた114本全ての櫛歯上部を接合でき縦型櫛歯電極の形成に成功した。これにより、櫛歯構造が使われる静電型MEMSデバイスの小型化が期待できる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis article describes a method for fabricating vertical comb electrodes by a silicon wafer bonding process. The silicon wafer was bonded onto combs made by DRIE, and only movable combs were released from the frame. As a result, we successfully formed all the vertical combs on the chip.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e991Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":49649149804783,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P2-C-4-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_2fc0aa70-d57f-466e-8414-4b3aacb2d5e8.png?v=1780550891","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p2-c-4","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}