{"product_id":"ieej-bte2025-10p2-c-5","title":"PMMA高アスペクト比流路の化学研磨技術","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P2-C-5\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eChemical vapor polishing techniques for high-aspect ratio flow channels in PMMA\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*青野 宇紀（日立製作所）, 村田 博教（日立ハイテク）, 柴崎 武彦（日立ハイテク）, 福村 真実（日立製作所）, 岩崎 富生（日立製作所）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e化学研磨,PMMA,ジクロロメタン,吸引,高アスペクト比流路,Chemical vapor polishing,Poly methyl methacrylate,Dichloromethane,Aspiration,High-aspect ratio flow channel\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e流路や反応容器などの機能素子を樹脂内に形成することで,低コスト,ディスポーザブルなシステムの構築を目的として,樹脂に機械加工で高アスペクト比の流路を形成し,有機溶剤の蒸気を導入することで,流路壁面を平滑化した流体デバイスについて検討し,以下の結論を得た。PMMA内に機械加工で形成した高アスペクト比100(長さ 80mm\/直径0.8 mm)の流路を減圧して,ジクロロメタン蒸気を導入し,表面粗さをでき,気泡の付着を抑制できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eIn microfluidic devices, adhesion of bubbles to the walls of flow-channels obstructs flow and chemical reactions. To overcome this problem, this research reports chemical vapor polishing techniques of high-aspect ratio flow-channels in PMMA block.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e892Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649160847599,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P2-C-5-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_bfa9dd3d-06e2-4449-bbdc-d7205555f633.png?v=1780550897","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p2-c-5","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}