{"product_id":"ieej-bte2025-10p2-d-2","title":"振動干渉抑制および長期安定性を備えた低電圧2軸圧電MEMSミラー","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P2-D-2\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eLow-voltage two-axis piezoelectric MEMS mirror with vibration interference suppression and long-term stability\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*橋口 強（リコー）, 新川 瑞季（リコー）, 赤沼 悟一（リコー）, 佐藤 正章（リコー）, 峯岸 大生（リコー）, 鈴木 修一（リコー）, 坂井 篤（リコー）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eMEMSミラー,スキャナ,圧電MEMS,クロストーク,信頼性,MEMS Mirror,Scanner,Piezoelectric MEMS,Crosstalk,Reliability\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、高速軸に共振駆動用のカンチレバー型アクチュエータを、低速軸には非共振駆動用のメアンダー型アクチュエータを採用した、ラスター走査用の2軸MEMSミラーを提案する。FEMシミュレーションを用いた構造最適化により機械的クロストークを抑制し、低電圧駆動と高品質な描画性能を両立させた。作製したミラーは、小型かつ低電圧で広い光走査角を達成し、車載規格に準拠した信頼性も確保している。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eWe present a 2-axis MEMS mirror for raster scanning using a resonant cantilever-type actuator for the high-speed axis and a non-resonant meander-type actuator for the low-speed axis. FEM-based optimization suppresses mechanical crosstalk, enabling low-voltage driving with high-quality imaging. The compact device achieves a wide scan angle with automotive-grade reliability.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e975Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":49649177100527,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P2-D-2-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_2407c55e-9d15-49eb-ba4c-02fef5b6aa64.png?v=1780550915","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p2-d-2","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}