{"product_id":"ieej-bte2025-10p2-m-2","title":"ツェナー降伏特性を利用した微小歪センサの基本特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P2-M-2\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eBasic characteristics of a small strain sensor using Zener breakdown characteristics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*ベルガラ アンドレア（東北大学）, 鈴木 裕輝夫（東北大学）, 松本 達也（東北大学）, 田中 秀治（東北大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e微小歪センサ,ツェナー降伏,温度特性,ノイズ特性,ピエゾ抵抗,Small strain sensor,Zener breakdown,Temperature characteristics,Noise characteristics,Piezoresistor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究はシリコンピエゾゼナー(PZZ)センサを用いた微小ひずみ検出をMEMSアクチュエータ向けに提案した。ゼナーダイオードを利用することで、従来のピエゾ抵抗(PZR)センサより高感度(0.76 µA\/MPa)かつ低消費電力化を実現した。温度特性やノイズ性能も良好で、長期安定性もPZRと同等であることを確認し、高感度・高安定なMEMS応用への有望性を示した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis study introduces a silicon piezo-Zener (PZZ) sensor that detects micro-strain in MEMS actuators using a Zener diode. The PZZ device exhibits higher sensitivity (0.76 µA\/MPa) than conventional piezoresistive sensors, with comparable temperature stability, low noise, and long-term reliability, demonstrating potential for compact, low-power, high-performance MEMS sensing.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e727Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649196368111,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P2-M-2-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_0a21afea-9f9c-4dc1-be04-ef0a0939c9b5.png?v=1780550939","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p2-m-2","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}