{"product_id":"ieej-bte2025-10p3-c-5","title":"光干渉型MEMSマルチモーダルセンサによるガス検出","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P3-C-5\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eHighly sensitive multi-gas detection using a MEMS optical surface stress sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*權 益賢（豊橋技術科学大学）, 十亀 龍星（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 髙橋 一浩（豊橋技術科学大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e揮発性有機化合物,呼気診断,表面応力センサ,共振質量センサ,マルチモーダルセンサ,Volatile organic compounds,Breath analysis,Surface stress sensor,Resonant mass sensor,Multimodal MEMS sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では,光干渉型MEMSマルチモーダルセンサを開発し,表面応力変化と共振周波数シフトを同時計測することでVOC検出を実現した.EtOHに対して0.5 ppmの検出下限を達成し,ACONと比較して約5倍大きな応力応答を示した.これにより,質量推定に基づくガス種識別の有効性を示した.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis study presents a MEMS-based optical interferometric multimodal sensor that simultaneously measures surface stress and resonance frequency shifts for gas detection. The device achieved a detection limit of 0.5 ppm for ethanol and revealed distinct responses compared to acetone, demonstrating selective and sensitive VOC identification based on molecular mass estimation.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e955Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":49649253351663,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P3-C-5-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_693c8ba3-2a89-40fd-b30f-7ee2c41a7943.png?v=1780550993","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p3-c-5","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}