{"product_id":"ieej-bte2025-10p4-ps-1","title":"PZT単結晶薄膜のキュリー点上昇現象におけるSi弾性板厚の影響の調査","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P4-PS-1\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eInvestigation of Influence of Si Elastic Plate Thickness on Curie Point Rise Phenomenon in PZT Single Crystal Thin Film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*那知 駿作（芝浦工業大学）, 勅使河原 明彦（芝浦工業大学）, 吉田 慎哉（芝浦工業大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eMEMS,PZT,キュリー温度,強誘電体薄膜,薄膜の応力,MEMS,PZT,Curie Temperature,Ferroelectric thin film,Thin film stress\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究ではMEMSプロセスを用いて、単結晶PZT自立膜および、さまざまな暑さのSi弾性板に拘束された円形ダイヤフラム構造を作製し、キュリー点の測定を行った。その結果Si基板厚が30µm程確保できればキュリー点の上昇現象が維持されることが確認された。また自立膜構造体ではバルク体のキュリー点と同程度の値を示したことからキュリー点の異常上昇現象はPZT単結晶薄膜それ自体の特性ではないことが確定した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eIt was confirmed that the abnormal rise in the Curie point persists in PZT single-crystal thin film as long as the Si substrate thickness is maintained at approximately 30 µm. Furthermore, the free-standing film structure showed values comparable to those of the bulk material.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e916Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":49649304994031,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P4-PS-1-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_bf55b909-be38-4831-a034-43997f940709.png?v=1780551040","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p4-ps-1","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}