{"product_id":"ieej-bte2025-10p4-ps-61","title":"直角プリズムを介したレーザ誘起背面湿式エッチングによる微小二軸ガラスフォースプレートの製作","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P4-PS-61\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eFabrication of bi-axial micro glass force plate using laser-induced backside wet etching through a right angle prism\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*大野 望（慶應義塾大学）, 中島 利八郎（慶應義塾大学）, 白鳥 俊宏（慶應義塾大学）, 高橋 英俊（慶應義塾大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eフォースプレート,レーザ誘起背面湿式エッチング,変位センサ,レーザ加工,0,Force plate,Laser-induced backside wet etching,Displacement sensors,Laser processing,0\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では，周波数特性を改善した微小二軸フォースプレートを提案する．二軸ばね構造と二台のレーザ変位計により鉛直・せん断方向の力を同時計測可能とした．V字溝構造を導入して中心プレートを軽量化し，周波数特性の向上を確認した．溝構造はレーザ誘起背面湿式傾斜エッチング法により形成し，UVレーザで二軸ばね構造を作製した．評価実験により，二軸方向で高感度かつ安定した計測が可能であることが示された．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis study proposes a bi-axial force plate with improved frequency characteristics. A v-shaped groove structure was introduced in the center plate and fabricated by laser-induced backside wet etching. The force plate, produced entirely by laser processing, demonstrated high-sensitivity measurements in both vertical and shear directions through evaluation experiments.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,709Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49649521590511,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P4-PS-61-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_1f5068e5-5df1-4efc-88d3-fc35bcee5af2.png?v=1780551211","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p4-ps-61","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}