{"product_id":"ieej-bte2025-10p4-ps-79","title":"単一マスクを用いたリソグラフィのみで共振周波数を制御する3Dメッシュ圧電MEMSハーベスタ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P4-PS-79\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003e3D Mesh Piezoelectric MEMS Harvester with Resonance Frequency Controlled by Single-Mask Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*森下 浩多（群馬大学）, 髙田 裕司（群馬大学）, 田中 有弥（群馬大学）, 橋口 原（静岡大学）, 年吉 洋（東京大学）, 鈴木 孝明（群馬大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e圧電,振動エナジーハーベスタ,3Dリソグラフィ,プリズム,MEMS,Piezoelectric,Vibration energy harvester,3D lithography,Prism,MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、振動エナジーハーベスタの共振制御に向け、3Dメッシュ構造を有する圧電MEMSハーベスタを開発した。単一マスクを用いた3Dリソグラフィによって構造角度、すなわち剛性の異なる3Dメッシュ構造を作製した。評価結果より、単一マスクパターンから14 Hzの間で共振周波数を調整することができ、圧電MEMSハーベスタの共振周波数を容易に制御する技術として有効である。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eIn this study, we developed a piezoelectric MEMS harvester using 3D mesh structures, fabricated via single-mask 3D lithography. This method enables stiffness tuning through structural angles, allowing resonance frequency control over a 14 Hz range.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e556Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49649588076783,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P4-PS-79-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_dff12d01-cdc3-4038-b9a7-bde80fa2b753.png?v=1780551266","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p4-ps-79","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}