{"product_id":"ieej-bte2025-10p4-ps-81","title":"オンチップパターンレーザとサンプリングモアレ法を組み合わせた光てこ方式カンチレバー","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e10P4-PS-81\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eOptical cantilever utilizing on-chip pattern laser and sampling moiré method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*佐藤 颯哉（慶應義塾大学）, 白鳥 俊宏（慶應義塾大学）, 公文広樹（浜松ホトニクス），本間秀（浜松ホトニクス），亀井宏記（浜松ホトニクス），廣瀬和義（浜松ホトニクス），高橋 英俊（慶應義塾大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e光てこ法,サンプリングモアレ法,オンチップパターンレーザ,レーザ加工,非接触変位・力センサ,Optical lever method,Sampling moiré method,On-chip pattern laser,Laser fabrication,Noncontact displacement・force sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eオンチップパターンレーザとサンプリングモアレ法を組み合わせた光てこ方式カンチレバーを提案する.提案手法は簡易な光軸セットアップで変位11.7倍の増幅と69 nmの分解能を達成し,高精度な変位・力計測が可能であった.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eWe propose an optical cantilever combining an on-chip pattern laser with the sampling moiré method. The method enables high-resolution displacement and force measurement with simple optical alignment, achieving 11.7× displacement amplification and 69 nm resolution.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,105Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49649596203247,"sku":"IEEJ-BTE2025-10P4-PS-81-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_d5eb4a64-862f-4ad2-bce3-3cfe1e0670f2.png?v=1780551272","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-10p4-ps-81","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}