{"product_id":"ieej-bte2025-11a2-b-1","title":"Siハニカム構造-PDMS複合ダンピング層によるMEMSスピーカの性能向上","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A2-B-1\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eHybrid Honeycomb-PDMS Damping Structure for High-Fidelity MEMS Microspeakers\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*王 旭晨（東北大学）, 鈴木 裕輝夫（東北大学）, 李 仲民（AAC Technologies）, 田中 秀治（東北大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eMEMS スピーカ,ハニカム構造,PDMSマイクロパタンニング,パッシブ減衰,音響忠実度向上,MEMS microspeaker,honeycomb structure,PDMS micropatterning,passive damping,acoustic fidelity improvement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eSiハニカム\/PDMSハイブリッドダンパーを用いたMEMSマイクロスピーカを提案した。ハニカム構造による幾何学的柔軟性を利用して粘弾性エネルギー散逸を高め、共振ピークを抑制した。シミュレーションでは、変位の増大とQ値の大幅な低下を確認した。PDMSマイクロパタンニンはEBLO法により作製され、真空中でQ=34、空気中でQ=29を示し、従来構造に比べTHDを31%低減した。これにより高音質化に有効であることを実証した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eA MEMS microspeaker with a honeycomb-patterned diaphragm and PDMS damping layer enhances energy dissipation, reducing Q-factor and THD. The honeycomb structure increases displacement and lowers resonance peaks, achieving Q = 34 (vacuum) and 29 (air) with 31% THD reduction for improved acoustic fidelity.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,470Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649717706991,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A2-B-1-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_1c6b1565-c71d-46e5-ab3b-8241dfade811.png?v=1780551363","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a2-b-1","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}