{"product_id":"ieej-bte2025-11a2-b-6","title":"3次元集積流体センサ向けPZT圧電薄膜を用いた小型液体用マイクロポンプ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A2-B-6\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eLow-Voltage Millimeter-Scale Liquid Micropump Using a PZT Thin-Film Diaphragm Actuator for a 3D-Stacked Fluid Sensor System\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*岡本 有貴（産業技術総合研究所）, 小田 怜（産業技術総合研究所）,（慶應義塾大学）, 小原 慧（産業技術総合研究所）,（慶應義塾大学）, 中島 利八郎（産業技術総合研究所）,（慶應義塾大学）, Gorwadkar Sucheta（産業技術総合研究所）, 山本 泰之（産業技術総合研究所）, 村本 智也（産業技術総合研究所）, 小林 健（産業技術総合研究所）, 竹井 裕介（産業技術総合研究所）, 岡田 浩尚（産業技術総合研究所）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e1,497Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649774330095,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A2-B-6-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_cb0f2968-3caa-4668-9368-21e7549463fb.png?v=1780551393","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a2-b-6","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}