{"product_id":"ieej-bte2025-11a2-c-6","title":"Au–Au常温接合を可能にするVUV光を用いた表面活性化条件の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A2-C-6\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eInvestigation of surface activation conditions using VUV light to enable room-temperature Au–Au bonding\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*荻野 美佳（東北大学）, 竹内 魁（東北大学）, 日暮 栄治（東北大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e常温接合,金-金接合,VUV処理,大気中接合,低温加熱,Room-temperature bonding,Au-Au bonding,VUV treatment,Bonding in air,low-temperature thermal treatment\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、真空紫外(VUV)光照射とその後の熱処理を組み合わせた表面活性化によるAu–Au 低温接合を提案した。VUV照射のみの表面活性化では、室温、大気雰囲気で行うAu-Auウェハ接合は強度が得られなかったが、VUV照射後に低温の熱処理(\u0026lt;150℃、5分)を組み合わせた表面活性化処理では、合成石英のバルクに近い強固な接合が得られた。本手法は、将来の低ダメージな低温接合技術として有望と考えられる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eIn this study, surface activated bonding of wafers with Au thin films was demonstrated using a combination of vacuum ultraviolet (VUV) light irradiation and subsequent low-temperature heat treatment (\u0026lt;150°C, 5 min). This method is suitable for low-damage and low-temperature heterogeneous-material integration.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e975Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":49649801658607,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A2-C-6-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_2e3fdf6e-eff2-4270-afb0-69e60494fb32.png?v=1780551429","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a2-c-6","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}