{"product_id":"ieej-bte2025-11a2-d-4","title":"持続性社会を目指した環境調和型加水分解性熱式MEMSセンサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A2-D-4\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eEco-friendly water dissolvable thermal MEMS sensor toward sustainable society\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*中村 琉聖（広島市立大学）, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン（広島市立大学）, 長谷川 義大（広島市立大学）, 松島 充代子（名古屋大学）, 川部 勤（名古屋大学）, 式田 光宏（広島市立大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e加水分解性,フレキシブルセンサ,気流センサ,呼吸モニタリング,Mo製ヒータ,Water Dissolvable,Flexible Sensor,Airflow Sensor,Respiration Monitoring,Mo Heater\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e動物実験での一時的な呼吸モニタリング用途を想定し、加水分解性熱式MEMSセンサを開発した。センサは,微細粘着フィルムを用いた乾式パターニング法により、PVA基板上にMo製ヒータを形成した構造を有する。Mo薄膜の抵抗温度係数は-2063 ppm\/℃を示し、熱式センサとしての動作を確認した。また、人工呼吸器による気流下で流量検出機能を評価した。さらに、本センサは浸水後30秒以内に完全に分解することを確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eHere we present a proof-of-concept water-dissolvable MEMS thermal sensor for eco-friendly, implantable respiratory monitoring. Fabricated with a molybdenum thin film on a polyvinyl alcohol substrate, the device demonstrated reliable airflow measurement with a TCR of -2,063 ppm\/°C. Complete dissolution in water within 30 seconds confirmed its transient, biocompatible potential.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e796Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649826726127,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A2-D-4-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_a7c9dd4d-1c24-497b-bb32-d042bb67a598.png?v=1780551453","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a2-d-4","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}