{"product_id":"ieej-bte2025-11a3-ps-24","title":"チップ間相互インダクタンスを用いた16GHzトポロジカル電気回路のデュアルダマシン手法による実現","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A3-PS-24\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eDemonstration of 16 GHz Topological Electrical Circuit Using Inter-Chip Mutual Inductance Fabricated by Dual-Damascene Process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*髙橋 遼平（東京大学）, 安永 竣（東京大学）, 飯塚 哲也（東京大学）, 肥後 昭男（東京大学）, 中根 了昌（東京大学）, 江澤 雅彦（東京大学）, 三田 吉郎（東京大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eトポロジカル電気回路,相互インダクタンス,デュアルダマシン手法,5G\/6G 無線通信,無線電力伝送,Topological electrical circuits,Mutual inductance,Dual‐Damascene process,5G\/6G wireless communication technologies,Wireless power transfer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、チップ間相互インダクタンスを用いたトポロジカル電気回路を提案する。回路構成として上下に配置したチップ間の結合を用いることで、インダクタ間の距離を削減でき強い相互インダクタンスが可能となる。また、ディアルダマシン手法で作成された銅配線により、低い配線抵抗を実現した。測定によりパラメータの大小を切り替えた回路において15.5 GHzにおいてトポロジカル状態とトリビアル状態の2状態を確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis paper addresses a topological electrical circuit employing inter-chip mutual inductance. Inter-chip coupling is applied to achieve strong mutual inductance by reducing the lateral distance between inductors. The circuit is composed of copper wiring, which enables low resistance, and fabricated by dual-damascene process. This circuit successfully exhibits both a topological and a trivial state at 15.5 GHz.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e815Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49649908482287,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A3-PS-24-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_77bc09fb-26f3-407e-b8ad-1c558c7ac789.png?v=1780551524","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a3-ps-24","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}