{"product_id":"ieej-bte2025-11a3-ps-56","title":"光ファイバとSi基板光導波型SPR屈折率センサの接続と基礎特性の評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A3-PS-56\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eConnection of optical fiber and silicon-based optical guided-wave SPR refractive index sensor and Evaluation of basic characteristics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*青柳 和志（東京工業高等専門学校）, GIRI PUTU ADITYA MAHENDRA（東京工業高等専門学校）, 新國 広幸（東京工業高等専門学校）, 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e屈折率センサ,光導波型,表面プラズモン共鳴,Si 基板,光ファイバ,Refractive index sensor,Optical guided-wave,Surface plasmon resonance,Si,Optical fiber\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eSi基板光導波型SPR屈折率センサを作製し、出力光強度と感度を評価する。光ファイバ固定用のV字溝をSi基板上に作製し、バッファ層・導波層を各々SiO2膜・BK7ガラス膜として成膜する。Ag膜(金属膜)を積層し、V字溝に光ファイバを接続した。光の導波に成功したが、出力光強度が小さく感度の評価を実施できていない。要因はセンサ各要素間の結合損失であり、発表会までに損失を低減させ、感度の評価まで行う。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eWe developed a silicon-based optical guided-wave SPR refractive index sensor with V-grooves for fiber alignment, SiO₂ buffer, BK7 waveguide, and Ag metal film. Although light guiding was achieved, output remained weak due to coupling loss. Reducing these losses is required to enable sensitivity evaluation before the presentation.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e881Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49650030280943,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A3-PS-56-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_5734314d-e020-490d-a386-26e56935c1a3.png?v=1780551617","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a3-ps-56","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}