{"product_id":"ieej-bte2025-11a3-ps-70","title":"シリコンナノワイヤの局所陽極酸化による作製と電気的特性の評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11A3-PS-70\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eStudy of Local Anodic Oxidation and Anisotropic Wet Etching Conditions for Silicon Nanowire Fabrication\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*山下 翔太（立命館大学）, 岩城 伸弥（立命館大学）, 野田 和俊（立命館大学）, 安藤 妙子（立命館大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eシリコンナノワイヤ,ピエゾ抵抗効果,AFMリソグラフィ,TMAHエッチング,4点曲げ試験,silicon nanowire,piezoresistive effect,AFM lithography,TMAH etching,four-point bending test\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eAFMリソグラフィ技術とTMAHエッチングを用いて幅80〜130 nmのシリコンナノワイヤを作製し、そのピエゾ抵抗特性を評価した。作製したナノワイヤのピエゾ抵抗係数は81×10⁻¹¹〜250×10⁻¹¹ Pa⁻¹と従来より大きな値を示し、ナノスケール特有の構造効果が感度向上に寄与する可能性が示唆された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eSilicon nanowires with widths of 80–130 nm were fabricated using AFM lithography and TMAH etching, and their piezoresistive properties were evaluated. The fabricated nanowires exhibited piezoresistive coefficients in the range of 81×10⁻¹¹ to 250×10⁻¹¹ Pa⁻¹, which are larger than  reported values, suggesting that nanoscale structural effects may contribute to the enhancement of sensitivity.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e559Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49650061377775,"sku":"IEEJ-BTE2025-11A3-PS-70-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_5a455e72-bd2e-4b75-aca7-498b254875fb.png?v=1780551654","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11a3-ps-70","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}