{"product_id":"ieej-bte2025-11p2-d-3","title":"液浸レーザ側壁ドーピングを用いたピエゾ抵抗型力センサ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11P2-D-3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eLaser-based fabrication of piezoresistive force sensor using liquid immersion laser sidewall-doping\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*中島 利八郎（慶應義塾大学）, 岡本 有貴（産業技術総合研究所）, 菅 哲朗（電気通信大学）, 竹井 裕介（産業技術総合研究所）, 高橋 英俊（慶應義塾大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eピエゾ抵抗型センサ,側壁ドーピング,レーザドーピング,ファイバレーザ,レーザ加工,Piezoresistive sensor,Sidewall doping,Laser doping,Fiber laser,Laser processing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、側壁ドープされたピエゾ抵抗を有するMEMS力センサのレーザ加工による製作手法を提案する。Siのセンサ構造とセンサ素子はどちらもレーザ加工によって形成される。特に、側壁ピエゾ抵抗層は、ドーパント溶液に浸したデバイス側壁に対してレーザを照射しドーピングすることで、直接パターニングする。試作したセンサはビーム幅が200 µmで、チップサイズが12mm×6 mmであった。本センサは20 µmの変位に対して線形に応答した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis paper presents a laser-based fabrication method for a MEMS force sensor with a sidewall-doped piezoresistive layer. The supporting beam holding the probe was doped by laser irradiation while immersed in a dopant solution. Both the sensor structure and sensing element are formed entirely through laser processing. A prototype sensor was fabricated with a beam width of 200 µm and a chip size of 12 × 6 mm. The sensor exhibited a linear resistance response to a 20 µm displacement.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e2,719Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49650311954671,"sku":"IEEJ-BTE2025-11P2-D-3-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_8ec475bf-a9d5-4891-af0d-0ba0ba220b20.png?v=1780551828","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11p2-d-3","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}