{"product_id":"ieej-bte2025-11p4-ps-19","title":"SAE-MEMSエナジーハーベスタの出力電力増大に向けた微細キャビティ構造の提案と評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11P4-PS-19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eProposal and Evaluation of Micro-Cavity Structures for Enhancing Output Power of SAE-MEMS Vibrational Energy Harvesters\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*砂川 優一朗（立命館大学）, 角野 響一（立命館大学）, 細井 覚（立命館大学）, 神宮 彩人（群馬大学）, 伊藤 蒼生（群馬大学）, 田中 有弥（群馬大学）, 山根 大輔（立命館大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eMEMS,振動発電素子,自己組織化エレクトレット,微細キャビティ構造,表面電位,MEMS,vibrational energy harvester,self-assembled electret,micro-cavity structure,surface potential\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e本研究では、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動発電素子の出力増大に向けた、自己組織化エレクトレット(SAE: Self-Assembled Electret)形成のための微細キャビティ(MC: Micro-Cavity)構造を提案し、その評価を行う。MC構造を用いることで、空気ギャップとSAE膜厚を独立して設計可能となる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis study proposes and evaluates micro-cavity (MC) structures filled with self-assembled electrets (SAEs) to enhance the output power of micro-electro-mechanical systems (MEMS) vibrational energy harvesters (VEHs). This design approach enables the realization of higher surface potential without being constrained by the air gap.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e418Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":49650413273327,"sku":"IEEJ-BTE2025-11P4-PS-19-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_f9604e9b-06b5-4629-bca4-567a74432f10.png?v=1780551901","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11p4-ps-19","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}