{"product_id":"ieej-bte2025-11p4-ps-21","title":"高温真空環境及び熱酸化による単結晶シリコン特性比較のための引張試験の研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11P4-PS-21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eStudy on Tensile Testing for Comparison of Single-Crystal Silicon Properties under High-Temperature Vacuum Environment and Thermal Oxidation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*鹿嶋 優平（立命館大学）, 安藤 妙子（立命館大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e単結晶シリコン,熱酸化,引張試験,高温環境,マイクロスケール,Single-crystal silicon,thermal oxidation,Tensile test,high-temperature environment,microscale\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e高温真空環境と熱酸化の影響に焦点を当て、マイクロスケール単結晶シリコンの機械的特性を調査するため引張試験を実施した。高温真空環境下では、300℃以上で強度が低下し始めた。熱酸化では、酸化時間5時間までは強度が増加したが、10時間を超えると強度が低下した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eI conducted tensile tests to investigate the mechanical properties of microscale single-\ncrystal silicon、 focusing on the effects of high-temperature vacuum environments and\nthermal oxidation。 In the high-temperature vacuum environment、 the strength began\nto decrease above 300 °C。 With thermal oxidation 、 the strength increased with\noxidation up to 5 hours but decreased when the oxidation time exceeded 10 hours。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e527Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49650429427951,"sku":"IEEJ-BTE2025-11P4-PS-21-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_c62626a3-cc2d-4b63-bc21-18008a18ae3c.png?v=1780551906","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11p4-ps-21","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}