{"product_id":"ieej-bte2025-11p4-ps-77","title":"レーザ誘起グラフェンの実効熱膨張率評価と熱駆動MEMSアクチュエータ応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e11P4-PS-77\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eEvaluation of effective thermal expansion of laser-induced graphene and its application to thermal MEMS actuators\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*寺田 隼（慶應義塾大学）, 田中 靖子（慶應義塾大学）, 山下 優（慶應義塾大学）, 田口 良広（慶應義塾大学）, 橋本 将明（慶應義塾大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eレーザ誘起グラフェン,実効熱膨張率,バイモルフ,熱駆動MEMSアクチュエータ,フェムト秒レーザ,laser induced graphene,effective thermal expansion coefficient,bimorph,thermal MEMS actuator,femtosecond laser\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eフェムト秒レーザ照射によりPDMS上にLIG層を形成し、LIG\/PDMSバイモルフ構造を作製した。FIBによる断面観察とチャンバー加熱時の角度変位測定により、LIGの実効熱膨張率を9.1×10⁻⁵\/Kと算出した。また、パルス状のレーザで加熱したステップ応答の解析により、 LIG\/PDMSバイモルフ構造のMEMSへの応用可能性を確認した.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eLIG layers were formed on PDMS by femtosecond laser irradiation to fabricate LIG\/PDMS bimorphs. Cross-sectional FIB observation and angular displacement during heating gave an effective thermal expansion coefficient of 9.1×10⁻⁵ \/K. Step-response analysis under pulsed laser heating confirmed their potential for MEMS actuation.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e425Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49650620563695,"sku":"IEEJ-BTE2025-11P4-PS-77-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_e40cc8f4-1b05-4b90-94f2-973e59645dd8.png?v=1780552065","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-11p4-ps-77","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}