{"product_id":"ieej-bte2025-12p2-ps-36","title":"ウェアラブル曲げセンサーのための超薄型シリコンひずみゲージのパッケージ構造の開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e12P2-PS-36\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eDevelopment of a packaging structure of Ultra-Thin Silicon Strain Gauge for wearable bending sensors\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*王 義文（東京大学）, 高桑 聖仁（東京大学）, 山本 道貴（東京大学）, 伊藤 寿浩（東京大学）, 高松 誠一（ニューヨーク州立大学ビンガムトン校）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e超薄型シリコンひずみゲージ,ウェアラブルデバイス,曲げセンサー,薄膜センサー,ひずみ分布,Ultrathin Silicon strain gauge,Wearable device,Bending sensor,Thin film sensor,Strain distribution\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003ePI上に配置された超薄型シリコンひずみゲージのパッケージング構造を提案する。セパンタインとシリコーンオイルを組み合わせ、引張変形を配線へ再分配することで、信号の線形性向上、安定した抵抗応答、4%未満のリラクゼーション、1万回のサイクルでの信頼性を実現し、データグローブなどのウェアラブル電子機器への実用的統合を可能にする。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eWe present a packaging structure for ultrathin silicon strain gauges on PI with serpentine and silicone oil, redistributing tensile deformation to interconnects. Results show enhanced linearity, stable resistance, relaxation below 4%, and reliability over 10,000 cycles, enabling practical integration into wearable electronics such as data gloves.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e730Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":49650622267631,"sku":"IEEJ-BTE2025-12P2-PS-36-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_34d702d0-9729-4fd7-9ba6-0e242a3efab3.png?v=1780552288","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-12p2-ps-36","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}