{"product_id":"ieej-bte2025-12p2-ps-74","title":"RF-MEMS向け低温硬化型感光性ポリイミド","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e12P2-PS-74\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eLow-Temperature Curable Photosensitized Polyimide For RF-MEMS\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*田中 進（東レ）, 酒井 智基（東レ）, 奥田 裕美子（東レ）, 荒木 斉（東レ）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eウェーハレベル接合,低温硬化,ポリイミド,PFASフリー,NMPフリー,MEMS,BAW,SAW,polyimide,photosensitized\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eMEMS構造のウェーハレベル接合向けポリマー封止材料として、ネガ型感光性ポリイミド（GN-L3000）を報告する。この材料は、酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(PGMEA)等の揮発性有機化合物を使用せずに現像可能であり、近年世界的に環境規制されているパーフルオロアルキル化合物（PFAS）およびN-メチルピロリドン（NMP）を含まない。コーティング時の膜厚均一性に優れ、膜厚15 µmで15 µm\/5 µmのラインアンドスペース（L\u0026amp;S）の微細パターンを形成可能である。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eThis study reports a sealing material based on negative-type photosensitized polyimide (GN-L3000) for wafer-level bonding of MEMS structures. This material, which enables fine processing and forms a cured film with excellent mechanical and thermal properties, could be a potential candidate material for the miniaturization of RF-MEMS devices.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e396Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49650623807727,"sku":"IEEJ-BTE2025-12P2-PS-74-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_2166ef9e-1336-43cd-97ee-70f8e06ce517.png?v=1780552391","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-12p2-ps-74","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}