{"product_id":"ieej-bte2025-12p2-ps-76","title":"機械的接続・電気的絶縁により櫛歯噛み合わせ精度向上したポリマー静電アクチュエータ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e12P2-PS-76\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003ePolymer Electrostatic Microactuator with Well Aligned Comb Electrodes by Mechanical Connection and Electrical Disconnection\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*山本 皓太（東京科学大学）, 石田 忠 （東京科学大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003eSU-8製カンチレバー,静電アクチュエータ,機械的接続,金属部分成膜,0,SU-8 cantilever,Electrostatic actuator,Mechanical connection,Partial metal coating,0\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003eハイドロゲル機械試験のため，櫛歯型静電アクチュエータ付きSU-8製カンチレバーを開発している。先行研究において，電気的絶縁のためにカンチレバーと電極を機械的に分離したところ，櫛歯噛み合わせに32.9 µmのずれが生じた。そこで，それらを構造的に接続し，金属を部分成膜して電気的に絶縁した。これにより噛み合わせのずれは14.2 µmに抑えられた。電位差200 Vで駆動すると4.7 µmの変位を得た。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eSU-8 cantilevers with comb-drive actuators are developing for hydrogel mechanical testing. In previous research, mechanical separation for insulation caused a 32.9 µm misalignment, resolved by structural connection and partial metal coating for insulation. The misalignment was reduced to 14.2 µm. A displacement of 4.7 µm was achieved at 200 V.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e371Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49650623906031,"sku":"IEEJ-BTE2025-12P2-PS-76-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_fdc6b705-df2a-4038-bfc3-e293b2202f77.png?v=1780552397","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-12p2-ps-76","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}