{"product_id":"ieej-bte2025-12p2-ps-80","title":"段差部を持つ基板接合のためのSU-8シートを用いた接合強度評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ：\u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No：\u003c\/strong\u003e12P2-PS-80\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名：\u003c\/strong\u003e【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日：\u003c\/strong\u003e2025\/11\/3\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語)：\u003c\/strong\u003eEvaluation of bonding strength using SU-8 sheet for substrate bonding with step structures\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名：\u003c\/strong\u003e*田上 竜也（山形大学）, 山田 知輝（山形大学）, 峯田 貴 （山形大学）\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語)： \u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード：\u003c\/strong\u003e基板接合,感光性SU-8シート,引張試験,接合強度,MEMS,MEMS,substrate bonding,SU-8 sheet,bonding strength,tensile test\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語)：\u003c\/strong\u003e深い穴を含む基板の全面に均一な接合を目指し、感光性SU-8シートをSi基板にラミネートした後、100 μm角のパターンにリソグラフィを行い、塗布型SU-8を全面露光したガラス基板と接合した。接合は、接合温度120-250 ℃、荷重20-80 MPa、接合時間1-3 hで行った。引張試験の結果、低温での接合では接合強度が低かったが、250℃での接合では5-36 MPaの接合強度が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語)：\u003c\/strong\u003eA photo-sensitive SU-8 sheet was used for bonding of substrates. A array pattern of 100 μm×100 μm was lithographed on the Si substrate. In the tensile test, although the bonding strength was low at low bonding temperature, a bonding strength of 5-36 MPa was obtained at 250 ℃.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ：\u003c\/strong\u003e370Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":49650623971567,"sku":"IEEJ-BTE2025-12P2-PS-80-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bumontaikai_b4d228b4-71db-4de2-b309-cf3021a7ec84.png?v=1780552408","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-bte2025-12p2-ps-80","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}