{"product_id":"ieej-dt06r01051037","title":"中波帯マグネトロンスパッタリング電源装置のシミュレーションと実験","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e1-37\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】平成18年電気学会産業応用部門大会講演論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/08\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSimulation and Experimental Researchs on Medium-Frequency Power Supply for Magnetron Sputtering\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e陳文光 (南華大学),藤田 吾郎(芝浦工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eWenguang Chen(School of Electrical Engineering,Nanhua University),Goro Fujita(Shibaura Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマグネトロンスパッタリング|電源装置|PWM制御|シミュレーション| Magnetron Sputtering| power supply| PWM| simulation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e2,811 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 2","offer_id":46405200347375,"sku":"IEEJ-DT06R01051037-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_68ba287a-8fda-46bf-af75-85eaa003b1d9.png?v=1745088338","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-dt06r01051037","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}