{"product_id":"ieej-dt08r02102081","title":"超精密ステージの設計製作および超高速ナノスケール位置決めの実験的検証","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-81\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】平成20年電気学会産業応用部門大会講演論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/08\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDesign Fabrication of High-Precision Stage and Experimental Verification on Ultrahigh-speed Nanoscale Positioning\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e坂田 晃一(横浜国立大学),藤本 博志(横浜国立大学),原 篤史(ニコン),佐伯 和明(ニコン)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKoichi Sakata(Yokohama National University),Hiroshi Fujimoto(Yokohama National University),Atsushi Hara(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマルチレート制御|PWMホールド|精密ステージ|位置決め| Multirate control|PWM hold|Precision stage|Positioning\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e4,315 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46405379621103,"sku":"IEEJ-DT08R02102081-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f9be1900-a1dd-4561-8e93-f1b342c47c04.png?v=1745093478","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-dt08r02102081","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}