{"product_id":"ieej-dt11r02052039","title":"ボールねじ駆動ステージにおける複数センサを用いた自己共振相殺制御","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-39\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/09\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSelf Resonance Cancellation using Multiple Sensors for Ballscrew Driven Stage\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e坂田 晃一(ニコン),佐伯 和明(ニコン),藤本 博志(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKoichi Sakata(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eボールねじ駆動ステージ|複数センサ|高帯域化|精密位置決め| ballscrew driven stage stage|multiple sensors|high bandwidth design|precise positioning\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e4,893 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46405526028527,"sku":"IEEJ-DT11R02052039-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5ab7ab47-52cb-4963-8f5d-0272a4165bce.png?v=1745100395","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-dt11r02052039","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}