{"product_id":"ieej-dt11r02122086","title":"ガントリ型精密位置決めステージにおけるSRCを用いた最適機構設計の提案","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-86\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】平成23年電気学会産業応用部門大会講演論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/09\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProposal of Optimum Mechanical Design Using SRC Control for Gantry-type Precision Stage\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e関 優志(東京大学),藤本 博志(東京大学),佐伯 和明(ニコン)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYushi Seki(The University of Tokyo),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超精密位置決めステージ|フィードバック制御|回転運動|自己共振相殺制御| High-precision stage|Feedback Control|Pitching|Self Resonance Control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e5,320 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46405546803439,"sku":"IEEJ-DT11R02122086-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c1e1d6d4-81a8-4ba7-9643-06c109f46000.png?v=1745101317","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-dt11r02122086","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}