{"product_id":"ieej-dt14s082s0804","title":"自己共振相殺制御と精密位置決めステージへの応用事例紹介","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e部門大会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003e2-S8-4\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】平成26年電気学会産業応用部門大会講演論文集\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/08\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eIntroduction of Self Resonance Cancellation and Its Application to High-Precision Stages\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e坂田 晃一(ニコン),佐伯 和明(ニコン),藤本 博志(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKoichi Sakata(Nikon Corporation),Kazuaki Saiki(Nikon Corporation),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e精密ステージ|複数センサ|フィードバック制御|高帯域化| high-precision stages|multiple sensors|feedback control|high bandwidth design\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e889 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格440円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46405621448943,"sku":"IEEJ-DT14S082S0804-PDF","price":440.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_97e61c92-b20b-4452-930e-c68cf0a4d6c1.png?v=1745105563","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-dt14s082s0804","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}