{"product_id":"ieej-ect11109","title":"DRIEを用いた高周波プラノコンベックス水晶振動子の研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eECT11109\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/11\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh Frequency Plano-convex Resonator Fabricated by DRIE\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大井川 寛(早稲田大学),銭 鋭(早稲田大学),陳 欣匯(早稲田大学),山崎 大輔(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiroshi OIGAWA(Waseda University),Rui QIAN(Waseda University),Hsin-Hui CHEN(Waseda University),Daisuke YAMAZAKI(Waseda University),Toshitsugu UEDA(Waseda University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e水晶振動子|プラノコンベックス|ＭＥＭＳ|ＤＲＩＥ|フォトレジスト|リフロー|Quartz resonator|Plano-convex|MEMS|DRIE|Photo resist|Reflow\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e振動子のみ成らずセンサ等にも多用可能なAT-cut水晶振動子は，スプリアスの影響でQ値や温度特性が著しく低下することが知られている。スプリアスを抑制する方法として，水晶断面をコンベックス型にする対策が有効である。本報告では，レジストとDRIEを用いて，ウェハ上に数十のコンベックスを同時に製作する方法ついて検討した。さらに，ウェットエッチングによって水晶を薄く加工し，高Q値の高周波振動子を開発した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e882 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46362600014063,"sku":"IEEJ-ECT11109-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c5ea9614-7d58-42ec-bf50-c7c4696c9f7b.png?v=1743632155","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ect11109","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}